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型號(hào)：Phenom ProX

詳細(xì)描述

是Phenom（飛納）第三代產(chǎn)品，結(jié)合了表面成像功能和元素分析能譜EDS功能，能譜儀 EDS的可以準(zhǔn)確的進(jìn)行樣品表面元素的定性和定量分析。

產(chǎn)品儀器參數(shù)：

放大倍數(shù)：20X-100,000X

分辨率：優(yōu)于17nm

電子槍?zhuān)?span>1500小時(shí)CeB6燈絲

抽真空時(shí)間：15秒以?xún)?nèi)

樣品移動(dòng)方式：自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)

樣品定位方式：光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航

樣品導(dǎo)電性要求：無(wú)需噴金，直接觀測(cè)絕緣體

加速電壓：5-15kV 連續(xù)可調(diào)

能譜儀EDS元素分析范圍： 5～92號(hào)元素

拓展功能：顆粒分析系統(tǒng)、3D粗糙度、纖維統(tǒng)計(jì)測(cè)量、孔徑測(cè)量系統(tǒng)、高倍拼圖等

環(huán)境掃描選件（ESEM）：溫控樣品臺(tái)，可直接觀測(cè)液體