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型號：ESCALAB 250Xi XPS

詳細描述：

ESCALAB250Xi 配備了微聚焦X射線單色器，提供優(yōu)化的XPS性能。其市場領先的靈敏度確保了最大樣本量。XPS并行成像是選擇最好橫向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空間分辨率優(yōu)于<3μm。最新開發(fā)的成像檢測器提供了“免簽名“的定量數(shù)據(jù)。多技術能力和系列預備室及各種設備的可用性，確保該儀器將提供任何表面分析問題的解決方案。

主要特點：

? 高靈敏度能量分析器

? 標配X射線單色器

? 小面積XPS

? 成像空間分辨率<3μm

? 定量成像

? 深度剖析性能

? 角分辨 XPS

? 微聚焦單色器

? 標準配置包含離子散射能譜（ISS）

? 標準配置包含反射電子能量損失譜（REELS）

? 標準配置包含預備室

? 多技術分析功能

? 多種樣品制備選項

? 全自動無人值守式分析

? 多樣品分析

? 基于Windows 的Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)

X射線單色器：

? 雙晶體微聚焦單色器擁有500 mm直徑羅蘭圓，使用鋁陽極

? 用戶可選擇200微米至900微米任何大小X射線光斑照射樣品

透鏡/分析器/檢測器：

? 透鏡/分析器/檢測器一體化使ESCALAB 250Xi具備同時擁有成像和小面積XPS測試能力的獨特性

? 兩種類型的檢測器可以確保分析者為每種分析選用最佳的分析器——二維檢測器用于成像，當檢測到高計數(shù)率時能譜分析使用基于通道電子倍增器的檢測器

? 配備兩組電腦控制虹膜機制透鏡——一組用于用戶控制分析區(qū)域，小面積測試模式下可下降到小于20微米，另一組透鏡用于控制接收角，對于高質量角分辨XPS至關重要

? 180°半球能量分析器

深度剖析：

? 數(shù)字化控制的EX06離子槍可用于提供優(yōu)異的深度剖析測試

? 即便使用低能離子，EX06離子槍同樣是一款高性能的離子源

? 可用于深度剖析中樣品原點多方位旋轉刻蝕

? 多技術能力

? 設計用于其它分析技術，不局限于XPS測試

? 透鏡組和能量分析器供電是可逆的——使用EX06離子槍，ISS（離子散射能譜）始終可用

? 電子槍加壓可升至1000V，為REELS提供優(yōu)異的離子源

技術選項：

? 帶非單色化X射線光源XPS

? AES（俄歇電子能譜）

? UPS（紫外電子能譜）

真空系統(tǒng)：

? 分析室使用5毫米厚鉬合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率

? 與使用內部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳

樣品制備：

? 系統(tǒng)基本配置包含一體化的進樣室和進樣門鎖機構

? 額外的制備室可做為選配件

Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)：

? 賽默飛世爾科技的表面分析儀器和部件由Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制

? 這個業(yè)界領先的軟件集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和報告生成

? Avantage是基于Windows的軟件包，可以通過網(wǎng)絡遠程控制，輕易實現(xiàn)與第三方軟件如微軟Word軟件兼容

? Avantage負責從樣品分析到報告生成整個測試分析過程