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網(wǎng)站首頁 >> 產(chǎn)品品牌 >> 荷蘭FEI公司 >> FEI“Nova NanoSEM 50系列”超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品中心

PRODUCTS

產(chǎn)品描述

型號(hào)：Nova NanoSEM 50

詳細(xì)描述

Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)室和制造工廠、生物和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統(tǒng)包含 EBIC、冷凍樣品臺(tái)、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。

技術(shù)參數(shù)：

分辨率高真空	30 kV (STEM) 15 kV (TLD) 1 kV (TLD、無 BD) 100 V (DBS) 15 kV, 5 nA	0.8 nm 1.0 nm 1.4 nm 3.5 nm 3.0 nm
分辨率低真空	3 kV 和 30 Pa (Helix) 10 kV	1.8 nm 1.5 nm
射束電流		高達(dá) 200 nA
著陸電壓范圍		50 V - 30 kV
樣品臺(tái)	X x Y x Z (mm)	110 x 110 x 25 150 x 150 x 10
機(jī)室		大試件室
探測(cè)	透鏡內(nèi) 透鏡下、大角度探測(cè)器	TLD SE 和 BSE 高靈敏度 DBS (SE/BSE)

主要特點(diǎn)：

? 場(chǎng)發(fā)射 SEM、超穩(wěn)定高電流 Schottky 電子槍

? 先進(jìn)的光學(xué)和探測(cè)技術(shù)，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內(nèi) TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實(shí)現(xiàn)最佳信息選擇和圖像優(yōu)化

? 低至 50 V 的射束著陸能量

? 1.4 nm @ 1 kV、無射束減速

? 全球唯一真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa

? 高達(dá) 200 nA 的高真空或低真空分析

? 整合式 16 位掃描/制圖引擎

? 超潔凈、無油滾動(dòng)和渦輪抽氣真空系統(tǒng)

? 150 x 150 mm 高精密、高穩(wěn)定壓電樣品臺(tái) (Nova NanoSEM 650)

上一個(gè)： FEI“Quanta 系列”環(huán)境掃描電子顯微鏡

下一個(gè)：固緯SFG-2110