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型號：SIGMA

詳細(xì)描述

GEMINI 鏡筒的設(shè)計可提供超低電壓成像和穩(wěn)定性。SIGMA 能識別小至 1.5 nm 的微細(xì)結(jié)構(gòu)。而 SIGMA HD 則可進(jìn)一步提高分辨率至 1.0 nm。

SmartSEM 軟件具有圖像導(dǎo)航功能，借助數(shù)字概覽圖像完成樣品在樣品倉內(nèi)的導(dǎo)航、定向和定位。使用 SmartBrowse 查看圖像及其相關(guān)分析數(shù)據(jù)。

通過在 SIGMA HD 分析樣品室上安裝雙 EDS 探測器來提高效率?？焖?、精準(zhǔn)的 X 射線能譜儀。

SIGMA HD 實現(xiàn)了分析型場發(fā)射掃描電鏡的高清晰成像。新型的低電壓優(yōu)化背散射探測器 HD BSD，能夠在低加速電壓（750V 至 3kV）和低探針電流下對樣品成像。新型 HD BSD 還可在 30kV 電壓下成像，堪稱業(yè)界一流。

SIGMA HD 將大幅圖像幀存儲與高速電子束掃描相結(jié)合，可實現(xiàn)在高分辨率大視野下（12K x 9K）的快速元素（50ns/像素）定量分析。樣品室還能夠同時連接兩個相對的 EDS 探測器，均可實現(xiàn)最大固定角度探測。針對電子束敏感樣品，雙 EDS 設(shè)置能在使用高 X 射線計數(shù)率的情況下同時保持低探針電流。