型號(hào):Phenom Pro
詳細(xì)描述
一款性能和價(jià)格介于光學(xué)顯微鏡和傳統(tǒng)大電鏡之間的經(jīng)濟(jì)型臺(tái)式掃描電鏡,可用于測(cè)量亞微米尺寸的樣品。Phenom Pure 適用于傳統(tǒng)大電鏡待測(cè)樣品的快速篩選,也適合于光學(xué)顯微鏡的分辨率無法滿足需求的客戶
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
放大倍數(shù):20×-20,000×
分辨率:優(yōu)于30nm
電子槍:1500小時(shí)CeB6燈絲
抽真空時(shí)間:15秒以內(nèi)
樣品移動(dòng)方式:自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)
樣品定位方式:光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航
樣品導(dǎo)電性要求:無需噴金,直接觀測(cè)絕緣體
拓展功能:顆粒分析系統(tǒng)、3D粗糙度測(cè)量、纖維系統(tǒng)測(cè)量、孔徑測(cè)量系統(tǒng)等
環(huán)境掃描選件(ESEM):溫控樣品臺(tái),可直接觀測(cè)液體