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型號：Phenom ProX

詳細(xì)描述

是Phenom（飛納）第三代產(chǎn)品，結(jié)合了表面成像功能和元素分析能譜EDS功能，能譜儀 EDS的可以準(zhǔn)確的進(jìn)行樣品表面元素的定性和定量分析。

產(chǎn)品儀器參數(shù)：

放大倍數(shù)：20X-100,000X

分辨率：優(yōu)于17nm

電子槍：1500小時CeB6燈絲

抽真空時間：15秒以內(nèi)

樣品移動方式：自動馬達(dá)樣品臺

樣品定位方式：光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航

樣品導(dǎo)電性要求：無需噴金，直接觀測絕緣體

加速電壓：5-15kV 連續(xù)可調(diào)

能譜儀EDS元素分析范圍： 5～92號元素

拓展功能：顆粒分析系統(tǒng)、3D粗糙度、纖維統(tǒng)計測量、孔徑測量系統(tǒng)、高倍拼圖等

環(huán)境掃描選件（ESEM）：溫控樣品臺，可直接觀測液體