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型號：Quanta

詳細(xì)描述

儀器簡介：

Quanta x50系列掃描電子顯微鏡是FEI公司最新一代的、真正的多用途掃描電鏡，是著名的Quanta產(chǎn)品家族的第三代產(chǎn)品。

技術(shù)參數(shù)：

1.分辨率:

二次電子:

高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV

高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項(xiàng))

低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV

環(huán)境真空模式 3.0nm @ 30kV

背散射電子 4.0nm @ 30kV

2.樣品室壓力最高達(dá)2600Pa

3.加速電壓200V ～ 30kV，連續(xù)調(diào)節(jié)

4.樣品臺移動范圍

Quanta 250: X=Y=50mm

Quanta 450: X=Y=100mm

Quanta 650: X=Y=150mm

主要特點(diǎn)：

1.FEI ESEM(環(huán)境掃描電鏡)技術(shù), 可在高真空、低真空和環(huán)境真空條件下對各種樣品進(jìn)行觀察和分析。

2.所有真空條件下的二次電子、背散射電子觀察和微觀分析。

3.先進(jìn)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)平臺，全數(shù)字化系統(tǒng)。

4.可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統(tǒng)。

5.可安裝低溫冷臺、加熱臺、拉伸臺等進(jìn)行樣品的原位、動態(tài)觀察和分析